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J-GLOBAL ID：200902221372206690   整理番号：05A0996498

PZTアクチュエータで駆動する光マイクロスキャナの作成

Fabrication of Optical Micro Scanner Driven by PZT Actuators

著者 (3件)： KOBAYASHI Takeshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  TSAUR Jiunnjye (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA Ryutaro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 9B  ページ： 7078-7082  発行年： 2005年09月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電アクチュエータで駆動する一次元(1D)光マイクロスキャナ...

シソーラス用語： 光走査 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】

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分類 (2件)： その他の光デバイス  (BD06060O) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (14件)：

• 1) K. Petroz, E. Ollier, H. Grateau and P. Mottier: Sens. Actuat. A 73 (1999) 117.
• 2) J. M. Zara and S. W. Smith: Sens. Actuat. A 102 (2002) 176.
• 3) H. Miyajima, N. Asaoka, M. Arima, U. Minamoto, K. Murakami, K. Tokuda and K. Matsumoto: J. Microelectromech. Syst. 10 (2001) 418.
• 4) S. Ahn and Y. Kim: J. Micromech. Microeng. 14 (2004) 1455.
• 5) J. Tsaur, Z. J. Wang, L. Zhang, M. Ichiki, J. W. Wan and R. Maeda: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 6664.

タイトルに関連する用語 (4件)： PZT ,  アクチュエータ ,  マイクロ ,  スキャナ