SiC結晶の研磨誘起表面損傷の深紫外Raman顕微分光法によるキャラクタリゼーション

文献

J-GLOBAL ID：200902226215962326 整理番号：06A0292881

Deep Ultraviolet Raman Microspectroscopic Characterization of Polishing-Induced Surface Damage in SiC Crystals

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著者 (6件)：

NAKASHIMA S.

NAKASHIMA S. について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)