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J-GLOBAL ID：200902227645913376   整理番号：03A0171805

ナノビーム二次イオン質量分析装置の試作と評価

Development and estimation of a nano-beam secondary ion mass spectrometry apparatus.

著者 (7件)： 野島雅 (東大 生産技研) ,  神田雄介 (東大 生産技研) ,  戸井雅之 (東大 生産技研) ,  冨安文武乃進 (東大 環境安全研セ) ,  坂本哲夫 (東大 生産技研) ,  尾張真則 (東大 生産技研) ,  二瓶好正 (東大 生産技研)
資料名： 分析化学
巻： 52  号： 3  ページ： 179-185  発行年： 2003年03月05日 
JST資料番号： F0008A  ISSN： 0525-1931  CODEN： BNSKAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年の電子デバイスの微小化に伴い,ナノレベルでの分析・評価技...

シソーラス用語： *二次イオン質量分析 ,...

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分類 (2件)： 質量分析計  (BD02060M) ,  無機物質中の元素の物理分析  (CC03022H)

引用文献 (16件)：

• 1) 上田 修, 本田耕一郎, 片岡祐治, 小高康稔: 富士通, 52 (4), 382 (2001).
• 2) T. Sakamoto, Zh. H. Cheng, M. Takahashi, Y. Kuramoto, M. Owari, Y. Nihei: Jpn. J. Appl. Phys., 37, Part 1, No.4A, 2051 (1998).
• 3) 長澤忠広: マイクロビームアナリシス第141委員会 第109回研究会資料, p. 63 (2002).
• 4) K. Takaya, He Li, M. Okabe, T. Yoshida, J. Murakami, M. Totsu, T. Hoshi: "Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS XII", p. 947 (2000).
• 5) M. Utlaut: "Handbook of Charged Particle Optics", p. 439 (1997).

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノビーム ,  二次イオン質量分析 ,  試作 ,  評価