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J-GLOBAL ID:200902229309651161   整理番号:06A0117662

単結晶ダイヤモンドドリルを用いた単結晶シリコンの高品位穴加工

High Performance Drilling of Monocrystalline Silicon Using Monocrystalline Diamond Drill
著者 (3件):
資料名:
巻: 72  号:ページ: 234-238  発行年: 2006年02月05日 
JST資料番号: F0268B  ISSN: 1348-8716  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本研究では単結晶シリコンに対する高品位微細穴加工を目的に,単...
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固体デバイス製造技術一般  ,  その他の切削 
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