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J-GLOBAL ID：200902229309651161   整理番号：06A0117662

単結晶ダイヤモンドドリルを用いた単結晶シリコンの高品位穴加工

High Performance Drilling of Monocrystalline Silicon Using Monocrystalline Diamond Drill

著者 (3件)： 横溝精一 (岡山県工技セ) ,  窪田真一郎 (岡山県工技セ) ,  宇野義幸 (岡山大 大学院自然科学研究科)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 72  号： 2  ページ： 234-238  発行年： 2006年02月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では単結晶シリコンに対する高品位微細穴加工を目的に,単...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の切削  (QC02040C)

引用文献 (10件)：

• 升田雅博. 小径ダイヤモンド電着工具によるアルミナセラミックへの通し穴加工 (第1報). 精密工学会誌. 2005, 71, 1, 105
• 亀岡誠司. CVDダイヤモンドドリルによる単結晶Siの穴あけ加工性能. 精密工学会誌. 2002, 68, 1, 142
• 亀岡誠司. CVDダイヤモンドドリルの単結晶Si穴あけ加工への適用. 精密工学会誌. 2002, 68, 10, 1362
• 宇野義幸. 単結晶シリコンの微細穴放電加工に関する研究. 電気加工学会誌. 1996, 30, 65, 9
• 窪田真一郎. エキシマレーザによる単結晶シリコンの加工特性. 1995年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1995, 343

タイトルに関連する用語 (5件)： 単結晶ダイヤモンド ,  ドリル ,  単結晶シリコン ,  高品位 ,  穴加工