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J-GLOBAL ID：200902236518572682   整理番号：03A0757578

次世代マイクロアクチュエータの加工法

著者 (1件)： 服部正 (姫路工大 高度産科技研)
資料名： 日本ロボット学会誌  (ロボ學)
巻： 21  号： 7  ページ： 748-751  発行年： 2003年10月15日 
JST資料番号： Y0482A  ISSN： 0289-1824  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロマシンやマイクロシステムが,マイクロセンサおよびマイ...

シソーラス用語： *マイクロアクチュエータ ,...

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分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• OHARA, J. 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems MEMS2001. 2001, 76-79
• MEKARU, H. Surface Rough ness of Microstructures Fabricated by LIGA Process. Proc. of THE 19th SENSOR SYMPOSIUM 2002. 2002, 263-266
• MOHR, J. Micro optical switching by electrostatic linear actuators with large displacement. Proc. the 7th International Conference Solid-State Sensors and Actuators, 1993. 1993, 120-123
• 服部. 放射光のナノマイクロ加工技術への応用. 溶接学会誌. 2002, 71, 3, 135-144
• TABATA, O. 3D FABRICATION BY MOVING MASK DEEP X-RAY LITHOGRAPHY (M^2DXL) WITH MULTIPLE STAGES. MEMS2002. 2002, 180-183

タイトルに関連する用語 (2件)： 次世代 ,  マイクロアクチュエータ