| 関連リンク |  |
|---|
文献
J-GLOBAL ID：200902237879870188
整理番号：07A1014736 Cat-CVD法によるHMDSを用いたSiNx系高性能積層バリアフィルムの作製
- 出版者サイト 複写サービスで全文入手
- 高度な検索・分析はJDreamⅢで
太田泰広
(北陸先端科学技術大学院大)
, 北陸先端科学技術大学院大 について
加藤大輔
(北陸先端科学技術大学院大)
, 北陸先端科学技術大学院大 について
大平圭介
(北陸先端科学技術大学院大)
, 北陸先端科学技術大学院大 について
村田英幸
(北陸先端科学技術大学院大)
, 北陸先端科学技術大学院大 について
松村英樹
(北陸先端科学技術大学院大)
北陸先端科学技術大学院大 について
資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
応用物理学会学術講演会講演予稿集 について
巻： 68th 号： 3 ページ： 1227 発行年： 2007年09月04日
JST資料番号： Y0055A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*化学蒸着
,...
化学蒸着 について
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
CVD【化学蒸着】
CVD【化学蒸着】 について
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
薄膜成長技術・装置
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
(BK14020I)
薄膜成長技術・装置 について
物質索引 (1件)：
物質索引
文献のテーマを表す化学物質のキーワードです
文献のテーマを表す化学物質のキーワードです
ヘキサメチルジシラザン
ヘキサメチルジシラザン について
タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
Cat-CVD
, Cat-CVD について
HMDS
, HMDS について
バリアフィルム
, バリアフィルム について
作製
作製 について
前のページに戻る
