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J-GLOBAL ID：200902238848304288   整理番号：09A0442112

単一繊維光学トラッピングプローブを用いた新接触プロービング法

Novel contact probing method using single fiber optical trapping probe

著者 (3件)： EOM Sang In (Dep. of Mechanical Engineering and Systems, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka, 566-0871, JPN) ,  TAKAYA Yasuhiro (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka, 566-0871, JPN) ,  HAYASHI Terutake (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka, 566-0871, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 33  号： 3  ページ： 235-242  発行年： 2009年07月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高アスペクト比または生体試料を有するマイクロデバイス用の新接触プロービング法を提案した。この技術では,誘電マイクロ球を光ファイバにより光学的にトラップし,接触プローブとして使用する。シミュレーションで,有限時間領域(FDTD)法とMaxwell応力理論を適用して光ファイバの先端に適する形状を求めた。その結果,単一光ファイバの使用によりマイクロ球のトラップが可能なことを示した。実験で,単一光ファイバのトラッピングをシミュレーション結果の考慮により効果的に立証した。接触プローブのトラップしたマイクロ球を使用するため,マイクロ球の表面から反射した再入ビームのインテンシティを監視した。プローブが物体表面と接触したとき,ビームのインテンシティは変化し,この変化を接触信号として使用する。プローブは光学的にトラップし,トラッピング力は非常に小さいので,この方法を低侵襲法で使用できる。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： マイクロプローブ ,  *探触子 ,  *光トラッピング ,  光ファイバ ,  有限差分時間領域法 ,  性質 ,  *計測器要素
準シソーラス用語： *レーザトラッピング ,  FDTD ,  低侵襲

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (21件)：

• MUNNIK, F. High aspect ratio, 3D structuring of photoresist materials by ion beam LIGA. Microelectron Eng. 2003, 67-68, 96-103
• WAITS, CM. Microfabrication of 3D silicon MEMS structures using gray-scale lithography and deep reactive ion etching. Sensors Actuat A : Phys. 2005, 119, 245-253
• TAKAYA, Y. Fundamental study on the new probe technique for the nano-CMM based on the laser trapping and Mirau interferometer. Measurement. 1999, 25, 9-18
• LIM, CT. Experimental techniques for single cell and single molecule biomechanics. Mater Sci Eng C : Bio S. 2006, 26, 1278-1288
• MIYAZAKI, H. A newly designed tensile tester for cells and its application to fibroblasts. J Biomech. 2000, 33, 971-974

タイトルに関連する用語 (1件)： 繊維光学