高誘電率スタックゲート誘電体におけるキャリア伝導および劣化の機構解明のためのキャリア分離解析

MIZUBAYASHI Wataru; YASUDA Naoki; OKADA Kenji; OTA Hiroyuki; HISAMATSU Hirokazu; IWAMOTO Kunihiko; TOMINAGA Koji; YAMAMOTO Katsuhiko; HORIKAWA Tsuyoshi; NABATAME Toshihide; SATAKE Hideki; TORIUMI Akira; TORIUMI Akira

文献

J-GLOBAL ID：200902246083485001 整理番号：05A0564405

高誘電率スタックゲート誘電体におけるキャリア伝導および劣化の機構解明のためのキャリア分離解析

Carrier separation analysis for clarifying carrier conduction and degradation mechanisms in high-k stack gate dielectrics

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=05A0564405&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0564405&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0530A") }}

著者 (13件)：

MIZUBAYASHI Wataru

MIZUBAYASHI Wataru について

名寄せID(JGPN) 200901100483490014 ですべてを検索
「MIZUBAYASHI Wataru」ですべてを検索
研究者情報を見る

(Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)

Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 202251000174437891 ですべてを検索
「Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN」ですべてを検索
機関情報を見る

YASUDA Naoki

YASUDA Naoki について

名寄せID(JGPN) 200901100367499853 ですべてを検索
「YASUDA Naoki」ですべてを検索

(MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN)

MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000111862938 ですべてを検索
「MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN」ですべてを検索

OKADA Kenji

OKADA Kenji について

名寄せID(JGPN) 200901100309420007 ですべてを検索
「OKADA Kenji」ですべてを検索

(MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN)

MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000111862938 ですべてを検索
「MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN」ですべてを検索

OTA Hiroyuki

OTA Hiroyuki について

名寄せID(JGPN) 200901100543759905 ですべてを検索
「OTA Hiroyuki」ですべてを検索
研究者情報を見る

(Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)

Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 202251000174437891 ですべてを検索
「Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN」ですべてを検索
機関情報を見る

HISAMATSU Hirokazu

HISAMATSU Hirokazu について

名寄せID(JGPN) 200901100406966120 ですべてを検索
「HISAMATSU Hirokazu」ですべてを検索

(MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN)

MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000111862938 ですべてを検索
「MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN」ですべてを検索

IWAMOTO Kunihiko

IWAMOTO Kunihiko について

名寄せID(JGPN) 200901100493939281 ですべてを検索
「IWAMOTO Kunihiko」ですべてを検索

(MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN)

MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000111862938 ですべてを検索
「MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN」ですべてを検索

TOMINAGA Koji

TOMINAGA Koji について

名寄せID(JGPN) 200901100574673790 ですべてを検索
「TOMINAGA Koji」ですべてを検索

(MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN)

MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000111862938 ですべてを検索
「MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN」ですべてを検索

YAMAMOTO Katsuhiko

YAMAMOTO Katsuhiko について

名寄せID(JGPN) 200901100526084422 ですべてを検索
「YAMAMOTO Katsuhiko」ですべてを検索

(MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN)

MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000111862938 ですべてを検索
「MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN」ですべてを検索

HORIKAWA Tsuyoshi

HORIKAWA Tsuyoshi について

名寄せID(JGPN) 200901100597002915 ですべてを検索
「HORIKAWA Tsuyoshi」ですべてを検索
研究者情報を見る

(Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)

Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 202251000174437891 ですべてを検索
「Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN」ですべてを検索
機関情報を見る

NABATAME Toshihide

NABATAME Toshihide について

名寄せID(JGPN) 200901100316008359 ですべてを検索
「NABATAME Toshihide」ですべてを検索

(MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN)

MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000111862938 ですべてを検索
「MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN」ですべてを検索

SATAKE Hideki

SATAKE Hideki について

名寄せID(JGPN) 200901100442801021 ですべてを検索
「SATAKE Hideki」ですべてを検索

(MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN)

MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000111862938 ですべてを検索
「MIRAI Project, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol.s (ASET), Tsukuba, JPN」ですべてを検索

TORIUMI Akira

TORIUMI Akira について

名寄せID(JGPN) 200901100521921903 ですべてを検索
「TORIUMI Akira」ですべてを検索
研究者情報を見る

(Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)

Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN について

名寄せID(JGON) 202251000174437891 ですべてを検索
「Advanced Semiconductor Res. Center (ASRC), National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN」ですべてを検索
機関情報を見る

TORIUMI Akira

TORIUMI Akira について

名寄せID(JGPN) 200901100521921903 ですべてを検索
「TORIUMI Akira」ですべてを検索
研究者情報を見る

(The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)

The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000096160140 ですべてを検索
「The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN」ですべてを検索
機関情報を見る

資料名：

Microelectronics Reliability (Microelectronics Reliability)

Microelectronics Reliability について

JST資料番号 C0530A ですべてを検索
ISSN,ISBN,CODENですべてを検索
資料情報を見る

巻： 45 号： 7-8 ページ： 1041-1050 発行年： 2005年07月
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

抄録/ポイント：

抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

キャリア分離法を使って,HfAlO_x(...

シソーラス用語：

シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

*MOSFET

MOSFET について

「MOSFET」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

,...
準シソーラス用語：

担体

担体について

「担体」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0564405&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0530A") }}

分類 (3件)：

分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです

トランジスタ

(NC03070N)

トランジスタについて

分類コード NC03070N で文献を検索
分類コード4桁 NC03 で文献を検索

, 酸化物薄膜

(BK14050P)

酸化物薄膜について

分類コード BK14050P で文献を検索
分類コード4桁 BK14 で文献を検索

, 固体デバイス計測・試験・信頼性

(NC03040G)

固体デバイス計測・試験・信頼性について

分類コード NC03040G で文献を検索
分類コード4桁 NC03 で文献を検索

タイトルに関連する用語 (6件)：

タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです

高誘電率

高誘電率について

「高誘電率」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

スタック

スタックについて

「スタック」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

ゲート誘電体

ゲート誘電体について

「ゲート誘電体」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

キャリア

キャリアについて

「キャリア」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

伝導

伝導について

「伝導」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

分離解析

分離解析について

「分離解析」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

前のページに戻る