電解液充填マイクロピペットプローブを備える走査型せん断力顕微鏡によるナノメータスケールの金属めっき

文献

J-GLOBAL ID：200902248153625054 整理番号：04A0658163

Nanometer-Scale Metal Plating Using a Scanning Shear-Force Microscope with an Electrolyte-Filled Micropipette Probe

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巻： 43 号： 7B ページ： 4482-4485 発行年： 2004年07月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

電解液充填マイクロピペットプローブを備える走査型プローブ顕微...

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電子顕微鏡,イオン顕微鏡 , 固体デバイス製造技術一般

引用文献 (34件)：

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