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J-GLOBAL ID：200902250370279428   整理番号：08A0557406

高エネルギーX線誘起エッチングによるポリテトラフルオロエチレンミクロ部品の作製

Fabrication of Poly(tetrafluoroethylene) Microparts by High-Energy X-ray-Induced Etching

著者 (6件)： UKITA Yoshiaki (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  KISHIHARA Mitsuyoshi (Okayama Prefectural Univ., Okayama, JPN) ,  KANDA Kazuhiro (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  MATSUI Shinji (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  MOCHIJI Kozo (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  UTSUMI Yuichi (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47  号： 1 Issue 1  ページ： 337-341  発行年： 2008年01月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高エネルギー領域でのX線光分解と脱離を用いたポリテトラフルオロエチレン(PTFE)ミクロ構造の処理特性を調べた。露出表面状態の観察から溶融,沸騰して照射表面に残留気泡構造を形成するのが観察されたが,PTFEの基本的光化学は先の報告での記述と同様と考えられて高アスペクト比構造が形成された。新たなNi電鋳ステンシルマスクを開発してPTFEミクロ流体部品の最初で実用的な例を作製することができた。作製したミクロ流体部品の受動バルブとして作用する垂直流体流操作用PTFE流体フィルタは計算結果と一致した。これはパターン形成の精度がこの技術をミクロ流体部品及び他の種々なミクロ部品の作製への応用に適切であることを示唆している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 微細構造 ,  *濾過装置 ,  *ポリテトラフルオロエチレン ,  X線照射 ,  光分解 ,  脱着 ,  ニッケル ,  ステンシル版 ,  透過率 ,  パターン形成 ,  *毛管カラム ,  アスペクト比 ,  寸法精度 ,  基板温度 ,  加工速度 ,  圧力 ,  閾値

分類 (1件)： 撹はん,混合  (XD02040M)

引用文献 (13件)：

• Y. Zhang, T. Katoh, M. Washio, H. Yamada, and S. Hamada: Appl. Phys. Lett.67(1995)872.
• Y. Zhang and T. Katoh: Jpn. J. Appl. Phys.35(1996) L186.
• T. Katoh and Y. Zhang: Microsyst. Technol.4(1998)135.
• K. Kanda, T. Ideta, Y. Haruyama, H. Ishigaki, and S. Matsui: Jpn. J. Appl. Phys.42(2003)3983.
• Y. Kato, K. Kanda, Y. Haruyama, and S. Matsui: Radial. Phys. Chem.75(2006)2049.

タイトルに関連する用語 (4件)： 高エネルギーX線 ,  誘起 ,  エッチング ,  作製