6-DOFの高精度集積化位置決め装置の設計と制御

文献

J-GLOBAL ID：200902255882943518 整理番号：04A0827177

Design and Control of a 6-DOF High-Precision Integrated Positioner

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資料名：
巻： 2004 号： Vol.3 ページ： 2493-2498 発行年： 2004年
JST資料番号： B0982A ISSN： 0743-1619 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

一つだけの磁気浮上可動部を用いて全ての必要な精密運動と粗な運...

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電磁機器

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