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J-GLOBAL ID:200902255882943518   整理番号:04A0827177

6-DOFの高精度集積化位置決め装置の設計と制御

Design and Control of a 6-DOF High-Precision Integrated Positioner
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著者 (3件):
資料名:
巻: 2004  号: Vol.3  ページ: 2493-2498  発行年: 2004年 
JST資料番号: B0982A  ISSN: 0743-1619  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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一つだけの磁気浮上可動部を用いて全ての必要な精密運動と粗な運...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
分類
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電磁機器 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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