文献

J-GLOBAL ID：200902265150558153   整理番号：09A0713562

3次曲げモードを利用するシリコン梁共振器

Silicon Beam Resonator Utilizing the Third-Order Bending Mode

著者 (8件)： OKADA Mitsuhiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  OKADA Mitsuhiro (Sanyo Electric Co., Ltd., Osaka, JPN) ,  NAGASAKI Hironori (Sanyo Electric Co., Ltd., Osaka, JPN) ,  TAMANO Akimasa (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TAMANO Akimasa (Sanyo Electric Co., Ltd., Osaka, JPN) ,  NIKI Kazuya (Sanyo Electric Co., Ltd., Osaka, JPN) ,  TANIGAWA Hiroshi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Kenichiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48  号： 6,Issue 2  ページ： 06FK03.1-06FK03.8  発行年： 2009年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 3次曲げモードを利用するシリコン梁共振器が設計され,製作された。それは3次モードの振幅を増加させるために3つの駆動電極をもつ。梁の機械的振動モードがレーザー-ドップラー振動計を使用して測定され,電気的特性がネットワーク分析器で評価される。面内振動は梁と各駆動電極の間のギャップに及ぼす静電気力によって引き起こされるので,面内振動の3次モードの振幅が共振梁に沿って3つの駆動電極を置くことによって増幅される。測定された共振周波数はシミュレーションしたものと良く一致する。ネットワーク分析器での面内振動の3次モードの測定から,DC電圧がばねの軟化効果により30から70vまで増加するので,共振周波数が2.3kHzだけ減少することが示される。DCバイアス依存性は電気的および機械的測定の間で良く一致する。最後に,面外振動を誘起するメカニズムが基板上で生じた電気場の影響の観点から議論される。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 曲げ ,  ケイ素 ,  梁 ,  *共振器 ,  振幅 ,  電極 ,  振動モード ,  振動計 ,  電気的性質 ,  解析 ,  力 ,  共振周波数 ,  シミュレーション ,  電圧 ,  ばね ,  軟化 ,  依存性 ,  基板 ,  面外振動
準シソーラス用語： レーザドップラ振動計 ,  ネットワーク分析 ,  静電気力 ,  バイアス依存性

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

引用文献 (11件)：

• S. Makita, H. Tanigawa, and K. Suzuki: Dig. Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf., 2007, p. 500.
• J. R. Clark, W.-T. Hsu, M. A. Abdelmoneum, and C. T.-C. Nguyen: J. Microelectromech. Syst.14(2005)1298.
• K. Wang, A.-C. Wong, and C. T.-C. Nguyen: J. Microelectromech. Syst.9(2000)347.
• C. T.-C. Nguyen: IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 54(2007)251.
• K. Wang and C. T.-C. Nguyen: J. Microeletromech. Syst.8(1999)534.

タイトルに関連する用語 (4件)： 曲げモード ,  シリコン ,  梁 ,  共振器