反応性イオン化スパッタリングを用いたMgO堆積

文献

J-GLOBAL ID：200902266798156081 整理番号：03A0471242

MgO deposition using reactive ionized sputtering

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巻： 435 号： 1/2 ページ： 154-160 発行年： 2003年07月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

内部コイルアンテナで作製した,従来型プレーナマグネトロン(P...

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酸化物薄膜 , 薄膜成長技術・装置

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