文献

J-GLOBAL ID：200902272493594933   整理番号：05A0340951

楕円円筒細孔をもつ二次元周期多孔質シリカ膜の誘電率及び弾性係数の理論的研究

Theoretical Investigation of Dielectric Constant and Elastic Modulus of Two-Dimensional Periodic Porous Silica Films with Elliptical Cylindrical Pores

著者 (8件)： MIYOSHI Hidenori (Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol. (ASET), Ibaraki, JPN) ,  MATSUO Hisanori (Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol. (ASET), Ibaraki, JPN) ,  TANAKA Hirofumi (Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol. (ASET), Ibaraki, JPN) ,  YAMADA Kazuhiro (Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol. (ASET), Ibaraki, JPN) ,  OKU Yoshiaki (Assoc. of Super-Advanced Electronics Technol. (ASET), Ibaraki, JPN) ,  TAKADA Syozo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  HATA Nobuhiro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KIKKAWA Takamaro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 3  ページ： 1161-1165  発行年： 2005年03月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空値に関する比誘電率k,及び骨格(細孔壁)値E<sub>w...

シソーラス用語： 誘電体薄膜 ,...
準シソーラス用語： *シリカ ,...

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分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  誘電体一般  (BM05010F) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

引用文献 (25件)：

• 1) The International Technology Roadmap for Semiconductors, 2003 Edition (Semiconductor Industry Association, 2003).
• 2) A. Jain, S. Rogojevic, W. N. Gill, J. L. Plawsky, I. Matthew, M. Tomozawa and E. Simonyi: J. Appl. Phys. 90 (2001) 5832.
• 3) C. M. Flannery, T. Wittkowski, K. Jung, B. Hillebrands and M. R. Baklanov: Appl. Phys. Lett. 80 (2002) 4594.
• 4) S. Lin, C. Jin, L. Lui, M. Tsai, M. Daniels, A. Gonzalez, J. T. Wetzel, K. A. Monning, P. A. Winebarger, S. Jang, D. Yu and M. S. Liang: Proc. 2001 Int. Interconnect Technology Conf., San Francisco, 2001 (IEEE Press, New Jersey, 2001) p. 146.
• 5) H. Miyoshi, H. Matsuo, Y. Oku, H. Tanaka, K. Yamada, N. Mikami, S. Takada, N. Hata and T. Kikkawa: Jpn. J. Appl. Phys. 43 (2004) 498.

タイトルに関連する用語 (9件)： 楕円 ,  細孔 ,  周期 ,  多孔質 ,  シリカ膜 ,  誘電率 ,  弾性係数 ,  理論 ,  研究