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J-GLOBAL ID：200902284005765439   整理番号：04A0448917

溶存ガスがSi基板上でPd粒子の析出に及ぼす効果

Effect of Dissolved Gas on Deposition of Pd Particles on Si Substrate

著者 (2件)： SHIBATA M (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN) ,  NEBASHI K (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
資料名： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
巻： 72  号： 6  ページ： 434-436  発行年： 2004年06月05日 
JST資料番号： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,グローブボックス内で,種々のガスで飽和した溶液中...

シソーラス用語： *パラジウム ,...

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分類 (3件)： 固-液界面  (CB12050B) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  無電解めっき  (WC08024S)

引用文献 (17件)：

• CHYAN, O. M. R. J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 92
• CHENG, X. J. Electrochem. Soc. 1998, 145, 352
• GELLOZ, B. Thin Solid Films. 1996, 276, 175
• GOROSTIZA, P. J. Electrochem. Soc. 1997, 144, 909
• NAGAHARA, L. A. J. Vac. Sci. Technol. 1993, A11, 763

タイトルに関連する用語 (4件)： 溶存ガス ,  Si基板 ,  PD ,  析出