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J-GLOBAL ID：200902286557481390   整理番号：05A0999889

XPSを用いたSiO₂におけるチャージアップの膜厚・膜質依存性の評価

著者 (9件)： 藤原哲之 (産業技術総合研) ,  藤原哲之 (東京理大) ,  佐藤陽亮 (産業技術総合研) ,  佐藤陽亮 (東京理大) ,  山本和弘 (産業技術総合研) ,  野中秀彦 (産業技術総合研) ,  一村信吾 (産業技術総合研) ,  一村信吾 (東京理大) ,  二瓶好正 (東京理大)
資料名： 真空に関する連合講演会講演予稿集
巻： 46th  ページ： 77  発行年： 2005年 
JST資料番号： L1308A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *X線光電子分光法 ,...

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分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (7件)： XPS ,  SiO2 ,  チャージ ,  膜厚 ,  膜質 ,  依存性 ,  評価