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J-GLOBAL ID:200902293825792103   整理番号:03A0612106

HfC被覆Si電界エミッタアレイの作製と評価

Fabrication and characterization of HfC coated Si field emitter arrays
著者 (6件):
資料名:
巻: 21  号:ページ: 1589-1593  発行年: 2003年07月 
JST資料番号: E0974A  ISSN: 1071-1023  CODEN: JVTBD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Si電界エミッタアレイ(FEA)の放出特性を改善するために引...
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分類 (3件):
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熱電子放出,電界放出  ,  その他の無機化合物の薄膜  ,  その他の固体デバイス 
タイトルに関連する用語 (5件):
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