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文献
J-GLOBAL ID:200902299477582424   整理番号:03A0471267

磁場中の高周波マイクロプラズマ源の開発

Development of high frequency micro plasma source in a magnetic field
著者 (3件):
資料名:
巻: 435  号: 1/2  ページ: 285-287  発行年: 2003年07月01日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
プラズマ装置  ,  気体放電 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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