特許
J-GLOBAL ID：200903000048448009

処理装置

発明者：
松下 道明

松下 道明 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-017182
公開番号（公開出願番号）：特開2003-218018
出願日： 2002年01月25日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：
【要約】【課題】 カセット内のウェハの収容状態を検出するための光学センサの交換を迅速つ容易に行えるようにする。【解決手段】 塗布現像処理装置におけるカセットの載置台に隣接した位置に,光学センサ45と,当該光学センサ45を支持した水平支持部材46と,水平支持部材46を支持した垂直支持部材47と,垂直支持部材47を支え,収納するケース48とを備えたマッピングユニット40を取り外し自在に設ける。ケース48内には,垂直支持部材47を昇降させる昇降駆動機構と,垂直支持部材47を載置台側に水平にスライドさせる水平移動機構とが設けられ,マッピングユニット40は,光学センサ45を載置台上のカセット内に進入させ,その後光学センサ45を上下方向にスキャンさせて,当該光学センサ45によりカセット内のウェハの収容状態を検出できる。
請求項（抜粋）：
基板を装置内に搬入するために,複数の基板を上下に整列して多段に収容できる収容体を載置する載置台を備えた,基板を処理する処理装置であって,前記載置台に載置された収容体内の基板の収容状態を検出するためのマッピングユニットを,前記載置台に隣接した位置に備え,前記マッピングユニットは,基板の前記収容状態を光学的に検出できる光学センサと,当該光学センサを支持する支持部材と,当該支持部材を昇降させるための昇降機構と,前記支持部材を前記載置台に載置された収容体側に移動させ,前記光学センサを検出可能な位置まで移動させるための移動機構と,を備えており,前記マッピングユニットは,この装置に対して取り外し自在に設けられていることを特徴とする,処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  H01L 21/68
FI (2件)：
H01L 21/68 L ,  H01L 21/30 562
Fターム (17件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031JA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA22 ,  5F031JA36 ,  5F031MA27 ,  5F031PA06 ,  5F046AA21 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046DA29 ,  5F046JA04 ,  5F046LA18
引用特許：
審査官引用 (4件)
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