高周波マイクロマシンスイッチ及びその製造方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：八田幹雄 , 奈良泰男 , 宇谷勝幸 , 藤田健 , 都祭正則 , 長谷川俊弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-298144
公開番号（公開出願番号）：特開2007-141835
出願日： 2006年11月01日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】本発明の目的は、カンチレバーとCPW配線ラインが一つの基板に形成でき、前記カンチレバーが下方に駆動する圧電高周波マイクロマシンスイッチを提供することにある。【解決手段】RF信号ライン102a,102bとキャビティ103aを備えた基板101と、キャビティ103aの上に位置し基板101に一端が固定されたカンチレバー110と、カンチレバー110が下方に駆動する時、RF信号ライン102a,102bと接触してRF信号ラインを接続するための接続パッド111と、を含む高周波マイクロマシンスイッチ及びその製造方法が開示される。【選択図】図4B

請求項（抜粋）：

RF信号ラインおよびキャビティを備えた基板と、前記キャビティの上に位置し前記基板に一端が固定されたカンチレバーと、前記カンチレバーが下方に駆動するとき、前記RF信号ラインと接触して前記RF信号ラインを接続するための接続パッドと、を含むことを特徴とする高周波マイクロマシンスイッチ。

IPC (4件)：

H01H 57/00 , H01H 49/00 , B81B 3/00 , B81C 1/00

FI (4件)：

H01H57/00 A , H01H49/00 L , B81B3/00 , B81C1/00

引用特許：

出願人引用 (4件)

大韓民国公開特許第2005-092359号
大韓民国公開特許第2004-103039号
大韓民国公開特許第2005-069059号

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審査官引用 (6件)

特開昭57-115735
特開昭57-115735
集積型マイクロスイッチおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-003631 出願人：株式会社アドバンテスト

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