特許
J-GLOBAL ID：200903000341230638
ダイシング方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020701
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199451
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 ダイシング装置の稼働中にウェーハの出し入れ及びカセットの着脱を行う必要がなく、しかもオペレータのみで簡単にダイシング状態を検査できるようにしたダイシング方法及びその装置を提供する。【解決手段】 半導体ウェーハをダイシングした後、ダイシング状態を自動的に検査するダイシング方法であって、ウェーハをダイシングするダイシングステップと、ダイシング後のウェーハを適宜検査工程に搬送する検査工程搬送ステップと、検査工程に配設された画像処理ユニットによってダイシング状態が検査され、ウェーハとの関連において検査結果が記憶されるダイシング状態検査ステップとを含む。ウェーハをダイシングするダイシング手段と、ダイシング後のウェーハを適宜検査工程に搬送する搬送手段と、検査工程に配設されたダイシング状態検査手段とを含むダイシング装置である。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハをダイシングした後、ダイシング状態を自動的に検査するダイシング方法であって、ウェーハをダイシングするダイシングステップと、ダイシング後のウェーハを適宜検査工程に搬送する検査工程搬送ステップと、検査工程に配設された画像処理ユニットによってダイシング状態が検査され、ウェーハとの関連において検査結果が記憶されるダイシング状態検査ステップと、を含むダイシング方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/78 P
, H01L 21/66 J
, H01L 21/78 Z
, H01L 21/78 Q
