特許
J-GLOBAL ID：200903000354582860

電子放出装置およびその製造方法

発明者：
山向 幹雄

山向 幹雄 について

, 
多留谷 政良

多留谷 政良 について

, 
友久 伸吾

友久 伸吾 について

, 
小林 浩

小林 浩 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-292504
公開番号（公開出願番号）：特開2006-107911
出願日： 2004年10月05日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】 電子放出特性を向上することのできる電子放出装置を提供する。【解決手段】 本発明の電子放出装置1は、カソード電極11bと、カソード電極11b上に形成され、孔6aを有する絶縁膜2と、絶縁膜2上に形成され、孔6aに連通する孔6bを有するゲート電極3aと、孔6aの底部に形成され、かつカソード電極11bと電気的に接続されたナノワイヤ7とを備えている。孔6bの直径nが0.5μm以上3μm以下である。また、孔6aおよび孔6bの直径がnである場合、孔6aの深さD1と孔6bの深さD2とを合わせた孔6の深さDは、0.1n≦D≦0.4nの関係を満たしている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
カソード電極と、 前記カソード電極上に形成され、第1の孔を有する絶縁膜と、 前記絶縁膜上に形成され、前記第1の孔に連通する第2の孔を有するゲート電極と、 前記第1の孔の底部に形成され、かつ前記カソード電極と電気的に接続された電子放出源とを備え、 前記第1および前記第2の孔の直径が0.5μm以上3μm以下である、電子放出装置。
IPC (2件)：
H01J 1/304 ,  H01J 9/02
FI (2件)：
H01J1/30 F ,  H01J9/02 B
Fターム (25件)：
5C127AA01 ,  5C127BA09 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127CC03 ,  5C127CC08 ,  5C127DD02 ,  5C127DD07 ,  5C127DD08 ,  5C127DD09 ,  5C127DD18 ,  5C127DD25 ,  5C127DD41 ,  5C127DD57 ,  5C127DD67 ,  5C127EE02 ,  5C127EE06 ,  5C135AA09 ,  5C135AA15 ,  5C135AB07 ,  5C135AC15 ,  5C135AC17 ,  5C135AC25 ,  5C135HH02 ,  5C135HH06
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM