磁気抵抗素子装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-025460
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219546
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】磁気抵抗素子装置においてシリコン結晶基板上にたとえ不均一な磁界分布や不均一な温度分布が存在する場合であっても、磁界の正確な測定が出来るようにしかつ装置の小型化を可能にする。【解決手段】シリコン単結晶基板2上にエッチングによりV字状溝4を形成し、V字状溝4の傾斜面7にV字状溝に平行に磁性ストライプ3をパターニングして、磁性ストライプを櫛歯状に近接配置するように構成する。

請求項（抜粋）：

シリコン結晶基板上に櫛歯状のジグザグ状に形成される磁気抵抗素子と該磁気抵抗素子の両端と中間に接続される電極とから成る磁気抵抗素子装置において、該中間電極からみて一方の電極側と他方の電極側との各櫛歯状のジグザグ状磁気抵抗素子の櫛歯同士を互いに近接配置させたことを特徴とする磁気抵抗素子装置。

IPC (2件)：

H01L 43/08 , G01R 33/09

FI (3件)：

H01L 43/08 P , H01L 43/08 Z , G01R 33/06 R

引用特許：

審査官引用 (6件)

磁気抵抗変換素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-176920 出願人：ソニー株式会社
特開昭61-022677
磁電変換素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-094283 出願人：株式会社村田製作所

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