特許
J-GLOBAL ID:200903000399013424
周期分極反転構造の製造方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
細田 益稔
, 青木 純雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-262230
公開番号(公開出願番号):特開2009-092843
出願日: 2007年10月05日
公開日(公表日): 2009年04月30日
要約:
【課題】電圧印加法によって周期分極反転構造を製造するのに際して、光の進行方向で隣接する分極反転部が連結することを防止すると共に、光進行方向と垂直方向では分極反転部が細長くつながるようにする。【解決手段】単分域化している強誘電体単結晶基板の主面上に設けられた電極構造を用いて、電圧印加法により周期分極反転構造を製造する。電極構造が、基板の主面1a上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、絶縁膜の隙間および絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜20とを備えている。導電膜20が、絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部6と、隙間を被覆する電極片部5とを備えている。電極片部5が、光の進行方向xと直交する方向yに向かって互いに離間された状態で配列されている。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
単分域化している強誘電体単結晶基板の主面上に設けられた電極構造を用いて、電圧印加法により周期分極反転構造を製造する方法であって、
前記電極構造が、前記強誘電体単結晶基板の前記主面上に設けられた複数の隙間のある絶縁膜と、この絶縁膜の前記隙間および前記絶縁膜を被覆するように設けられている導電膜とを備えており、この導電膜が、前記絶縁膜を被覆する絶縁膜被覆部と、前記隙間を被覆する電極片部とを備えており、前記電極片部が、光の進行方向と直交する方向に向かって互いに離間された状態で配列されていることを特徴とする、周期分極反転構造の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA03
, 2K002FA27
引用特許: