顕微鏡装置および液浸対物レンズ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：古谷史旺 , 森俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-373951
公開番号（公開出願番号）：特開2005-208626
出願日： 2004年12月24日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】基板を観察する際に、低分解能での観察と高分解能での観察とを必要に応じて切り換えることができ、且つ、安価に高分解能化が可能な顕微鏡装置および液浸対物レンズを提供する。【解決手段】本発明の顕微鏡装置は、液浸系の対物レンズを介して、被検部と前記対物レンズとの間に浸液を充填させた状態で前記被検部の拡大像を形成する顕微鏡光学系と、基板上の複数の被検部のうち第一の被検部が前記顕微鏡光学系の視野位置にある状態から前記基板上の第二の被検部が前記視野位置にある状態に移動させる移動装置と、前記対物レンズと被検部との間に充填する浸液を供給する浸液供給装置と、前記対物レンズと前記被検部との間に充填された前記浸液を除去する浸液除去装置と、前記移動装置を動作させる前に、前記浸液除去装置により浸液を除去させる浸液除去制御装置とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液浸系の対物レンズを介して、被検部と前記対物レンズとの間に浸液を充填させた状態で前記被検部の拡大像を形成する顕微鏡光学系と、基板上の複数の被検部のうち第一の被検部が前記顕微鏡光学系の視野位置にある状態から前記基板上の第二の被検部が前記視野位置にある状態に移動させる移動装置と、前記対物レンズと被検部との間に充填する浸液を供給する浸液供給装置と、前記対物レンズと前記被検部との間に充填された前記浸液を除去する浸液除去装置と、前記移動装置を動作させる前に、前記浸液除去装置により浸液を除去させる浸液除去制御装置とを備えたことを特徴とする顕微鏡装置。

IPC (1件)：

G02B21/24

FI (1件)：

G02B21/24

Fターム (3件)：

2H052AD02 , 2H052AD19 , 2H052AD27

引用特許：

出願人引用 (1件)

検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-294515 出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (7件)

特開平4-340242
特開平4-340242
特開昭59-019912

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