顕微鏡自動焦点調整装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠原泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-146258
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338943
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】顕微鏡自動焦点調整装置において、対物レンズとして液浸対物レンズを用いた場合にも、試料が対物レンズに付着せず、常にステージに付着した状態を維持し、適正な焦点検出を可能にする。【構成】ステージ駆動回路3は、合焦に際して、対物レンズ5が液浸対物レンズである場合ににおいては、ステージ2を上方向に移動させるときには移動速度を高速に設定し、ステージ2を下方向に移動させるときには移動速度を低速に設定する。

請求項（抜粋）：

ステージ上に載置された試料を観察する、対物レンズを含む対物光学系と、該対物光学系により形成された前記試料の像の合焦度を検出する合焦度検出手段と、該合焦度検出手段が検出した合焦度に応じて前記対物レンズと前記ステージの少なくとも何れか一方を上下方向に駆動し、焦点調整を行う駆動手段とを有する顕微鏡自動焦点調整装置において、前記駆動手段は、前記対物レンズが液浸対物レンズであると判定された場合には、該液浸対物レンズと前記ステージとを相互に接近させる方向においては駆動速度を高速に設定し、前記液浸対物レンズと前記ステージとを相互に離隔させる方向においては駆動速度を低速に設定するものであることを特徴とする顕微鏡自動焦点調整装置。

IPC (2件)：

G02B 7/28 , G03B 13/36

FI (2件)：

G02B 7/11 J , G03B 3/00 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-221917
特開昭61-270715
顕微鏡用自動焦点検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-084664 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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