赤外線センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西川惠清 , 森厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-119736
公開番号（公開出願番号）：特開2007-292562
出願日： 2006年04月24日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】断熱部が振動するような外力に起因して脚部が破損するのを防止することができ、且つ、高性能化を図れる赤外線センサを提供する。【解決手段】ベース基板1と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部3と、温度検知部3がベース基板1の一表面から離間して配置されるように温度検知部3を支持して温度検知部3とベース基板1とを熱絶縁する断熱部4とを備える。断熱部4は、ベース基板1の上記一表面から離間して配置されベース基板1側とは反対側に温度検知部3が形成される支持部41と、支持部41とベース基板1とを連結した脚部42,42とを有する。脚部42は、ベース基板1の上記一表面に沿った幅方向に直交する面内で蛇行した形状に形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ベース基板と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部と、温度検知部がベース基板の一表面から離間して配置されるように温度検知部を支持して温度検知部とベース基板とを熱絶縁する断熱部とを備え、断熱部は、ベース基板の前記一表面から離間して配置され温度検知部が設けられた支持部と、支持部とベース基板とを連結した脚部とを有し、脚部の少なくとも一部が蛇行した形状に形成されてなることを特徴とする赤外線センサ。

IPC (1件)：

G01J 1/02

FI (1件)：

G01J1/02 C

Fターム (9件)：

2G065AB02 , 2G065BA11 , 2G065BA12 , 2G065BA13 , 2G065BA14 , 2G065BA34 , 2G065CA13 , 2G065CA27 , 2G065DA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-270435 出願人：松下電工株式会社

審査官引用 (5件)

センサ及びセンサアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-014120 出願人：三菱電機株式会社
熱型赤外線固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-049948 出願人：日本電気株式会社
赤外線検出素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-141362 出願人：日産自動車株式会社

全件表示

前のページに戻る