基板処理装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330055
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163086
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】基板処理装置内の部品点数を削減して装置構成の簡単化や装置のフットプリントの小型化を図る。【解決手段】インデクサ部1に配設された基板移載ロボット4に設けられた基板移載保持部10における基板の保持位置と、基板処理部2に配設された基板搬送ロボット6に設けられた2つの各基板搬送保持部30(30a、30b)における基板の保持位置とを違えて、基板移載保持部10と各基板搬送保持部30(30a、30b)との上下方向の相対移動によって、両保持部10と30(30a、30b)と間で基板Wを直接に受け渡すように構成した。

請求項（抜粋）：

基板を収納する基板収納部と、前記基板収納部に対する基板の取り出し・収納を行う基板移載手段とが配設された基板搬入搬出部と、1または複数の処理ユニットと、前記処理ユニット間の基板の搬送及び前記処理ユニットに対する基板の受渡しを行う基板搬送手段とが配設された基板処理部と、を備えた基板処理装置において、前記基板移載手段は、基板を保持して水平方向に進退移動が可能な基板移載保持部を有し、前記基板搬送手段は、基板を保持し、互いに独立して水平方向に進退移動が可能な複数の基板搬送保持部を有し、前記基板移載保持部における基板の保持位置と、前記各基板搬送保持部における基板の保持位置とを違えて、前記基板移載保持部と前記各基板搬送保持部との上下方向の相対移動によって、前記両保持部間で基板を直接に受け渡すように構成したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 D

引用特許：

審査官引用 (6件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-245914 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板フォトレジスト処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-252488 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-295411 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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