特許

J-GLOBAL ID：200903000666680419

マルチプローブ型走査プローブ顕微鏡装置およびそれを用いた試料表面評価方法

発明者： 安尾 文利 ,  鮎川 あきつ ,  森 加代子 ,  岡▲崎▼ 裕子 ,  増田 亮一
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-332452
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139414
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 複数種の走査プローブ顕微鏡像の測定を容易に行えて、測定作業に要する労力および時間を軽減できるマルチプローブ型走査プローブ顕微鏡装置およびそれを用いた試料表面評価方法を提供する。【解決手段】 駆動機構5は、第1,第2駆動部4,34を備えている。第1駆動部4が圧痕形成用プローブ2をXYZ方向に移動させ、第2駆動部34が測定用プローブ32をXYZ方向に移動させる。圧痕形成用プローブ2と測定用プローブ32とは第1,第2駆動部4,34により互いに独立に移動する。

請求項（抜粋）：

試料の表面に圧痕を形成する圧痕形成用プローブと、上記試料の表面を測定する測定用プローブとを備えたマルチプローブ型走査プローブ顕微鏡装置であって、上記圧痕形成用プローブと上記測定用プローブとを水平方向および高さ方向に互いに独立して移動させる移動制御手段を有することを特徴とするマルチプローブ型走査プローブ顕微鏡装置。

IPC (3件)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G01N 1/28

FI (4件)：

G01N 13/10 B ,  G01N 13/10 F ,  G01B 21/30 ,  G01N 1/28 H

Fターム (9件)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069CC10 ,  2F069DD15 ,  2F069GG65 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069MM32

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭64-053364
  
• プローブ顕微鏡装置および探針間距離測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-283415   出願人：日立建機株式会社
• 半導体基板の欠陥の検出方法と試料の作製方法及び欠陥の観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-085625   出願人：住友シチックス株式会社
• 表面観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-156072   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-095909   出願人：日本電子株式会社