特許
J-GLOBAL ID：200903084637169127

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
内海 博

内海 博 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-095909
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292337
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 広い領域の像を比較的短時間に得ることができる走査トンネル顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡を実現する。【解決手段】 第1と第2の探針8,10を用いて試料1の所定領域を走査するようにしたので、同じ領域の走査時間を、探針が1本の従来装置に比べて半分とすることができる。また、従来と同じ走査時間では、2倍の走査領域の像信号を取得することができる。
請求項（抜粋）：
試料と探針とを相対的に走査し、試料表面の像を得るようにした走査型プローブ顕微鏡において、探針を複数設け、それぞれの探針に対してZ方向の駆動機構を設け、各Z方向の駆動機構は共通のX-Y駆動機構に取り付けられていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 13/12 ,  G01B 21/30 ,  G12B 1/00 601
FI (3件)：
G01N 37/00 B ,  G01B 21/30 Z ,  G12B 1/00 601 G
Fターム (19件)：
2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD15 ,  2F069DD20 ,  2F069GG02 ,  2F069GG06 ,  2F069GG35 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG63 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ04 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM11 ,  2F069MM32 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05
引用特許：
審査官引用 (15件)
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