特許
J-GLOBAL ID：200903000667945297

合焦位置検出方法、合焦位置検出装置及び露光装置

発明者：
佐々木 亮

佐々木 亮 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-130925
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329646
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 分解能の高い光学系を用いて入力されたマーク信号においても、高精度な位置の検出を可能にする。【解決手段】 合焦位置を検出するために、光電変換素子に合焦位置検出用マークWMからの光パターンを投影する手段を用い、マークWMの2次元信号から1次元マーク走査信号を得るための撮像装置107と、該1次元マーク走査信号からマークWMの合焦位置を検出するための合焦位置検出装置110とを備え、マークWMの境界部と撮像装置107に配列されている光電変換素子の配列方向の1方向とが直交しない交差角度に設定される。該交差角度は、撮像装置107を回転させること、またはマークWMの境界部を撮像装置107に配列された光電変換素子に対して回転させることに基づいて設定される。
請求項（抜粋）：
合焦位置を検出するために、配列された光電変換素子上に合焦位置検出用マークからの光パターンを投影する手段を用いて合焦位置検出を行う合焦位置検出方法において、前記マークの2次元信号から1次元マーク走査信号を得る工程と、前記1次元マーク走査信号から前記マークの合焦位置を検出する工程とを備え、前記マークの境界部と該光電変換素子の配列方向の1方向とが直交しない交差角度に設定されていることを特徴とする合焦位置検出方法。
IPC (6件)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/36 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 521
FI (8件)：
G01B 11/00 B ,  G03F 1/08 M ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 526 Z ,  H01L 21/30 502 G ,  G02B 7/11 D ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 N
Fターム (17件)：
2F065AA06 ,  2F065BB28 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM25 ,  2H051AA10 ,  2H051BA70 ,  2H051BA72 ,  2H095BA01 ,  2H095BB02 ,  2H095BE02 ,  5F046DA13 ,  5F046DB11 ,  5F046DB14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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