特許
J-GLOBAL ID：200903000711687233
インプリントリソグラフィ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 大賀 眞司
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-075869
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273979
出願日： 2007年03月23日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【課題】新規のインプリントリソグラフィ装置及び方法を提供する。【解決手段】インプリントリソグラフィ装置は、リソグラフィ基板10を支持する基板テーブルと、リソグラフィ基板に流体を放出するように構成された複数のノズル13を設けた複数の印刷ヘッド12を備え、複数のノズル13はリソグラフィ基板10の直径と実質的に等しいかまたはそれより大きい距離にわたって延在し、複数のノズル13およびリソグラフィ基板10は相互に対して相対的に移動可能である。【選択図】図5a
請求項（抜粋）：
リソグラフィ基板を支持する基板テーブルと、前記リソグラフィ基板に流体を放出するように構成されたノズルを設けた複数の印刷ヘッドとを備えるインプリントリソグラフィ装置であって、
前記印刷ヘッドおよび前記リソグラフィ基板は、相互に対して相対的に移動可能であり、
前記複数の印刷ヘッドは隣接する印刷ヘッドのフットプリントが重なるように配置される、
インプリントリソグラフィ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, B82B 3/00
H01L21/30 502D
, G03F7/20 501
, B82B3/00
