特許
J-GLOBAL ID：200903025175323056

溶液の供給装置及び供給方法

発明者：
松嶋 大輔

松嶋 大輔 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (6件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-374556
公開番号（公開出願番号）：特開2005-137971
出願日： 2003年11月04日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】この発明は基板に塗布する溶液の塗布データ量を少なくすることができるようにした溶液の供給装置を提供することにある。【解決手段】上面に基板を載置して所定方向に駆動される搬送テーブル3と、溶液を液滴状に噴射塗布する複数のノズル17を有し、搬送テーブルの上方に所定方向に対して交差する方向に沿って配置された複数のヘッド11と、基板に噴射塗布される溶液の塗布データをパターン化して記憶したメモリ44と、搬送テーブルの上記所定方向の移動を検出するリニアエンコーダ20と、リニアエンコーダが検出する基板の所定方向への移動に応じてメモリに記憶されたパターン化されたデータに基づいて各ヘッドの所定のノズルから溶液を噴射させる制御装置31とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板に溶液をインクジェット方式によって供給する溶液の供給装置において、 上面に上記基板を載置して所定方向に駆動される搬送テーブルと、 上記溶液を液滴状に噴射塗布する複数のノズルを有し、上記搬送テーブルの上方に上記所定方向に対して交差する方向に沿って配置された複数のヘッドと、 上記基板に噴射塗布される溶液の塗布データをパターン化して記憶するメモリと、 上記搬送テーブルの上記所定方向の移動を検出する検出手段と、 この検出手段が検出する上記基板の所定方向への移動に応じて上記メモリに記憶されたパターン化データに基づいて各ヘッドの所定のノズルから溶液を噴射させる制御手段と を具備したことを特徴とする溶液の供給装置。
IPC (5件)：
B05C11/10 ,  B05C5/00 ,  B05D1/26 ,  B41J2/01 ,  H01L21/027
FI (5件)：
B05C11/10 ,  B05C5/00 101 ,  B05D1/26 Z ,  B41J3/04 101Z ,  H01L21/30 564Z
Fターム (43件)：
2C056EA23 ,  2C056EA24 ,  2C056EB12 ,  2C056EB36 ,  2C056EC69 ,  2C056EC79 ,  2C056FA04 ,  2C056FA10 ,  2C056FB01 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC73 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA45 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F042AA02 ,  4F042AA07 ,  4F042AA10 ,  4F042AB00 ,  4F042BA06 ,  4F042BA08 ,  4F042BA12 ,  4F042CB03 ,  4F042DF05 ,  4F042DF22 ,  4F042DF24 ,  4F042DF29 ,  5F046JA02 ,  5F046JA27
引用特許：
審査官引用 (16件)
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