特許
J-GLOBAL ID：200903000715689826

共通回転軸を有する複数アームを持つ基板搬送装置

発明者：
ホフマイスター クリストファー エイ.

ホフマイスター クリストファー エイ. について


出願人/特許権者：
ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

ブルックス オートメーション インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 藤村 元彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-592114
公開番号（公開出願番号）：特表2002-534282
出願日： 1999年11月23日
公開日（公表日）： 2002年10月15日
要約：
【要約】駆動セクション(24)と、回転共通軸D上の該駆動セクションと結合されている2つの独立可動アームアセンブリ(66,68)と、該アームアセンブリと結合されている基板ホルダ(38,39)を有する基板搬送装置B。該駆動セクションは、3本の同軸駆動シャフト(50a、50b、50c)から構成されていて、シャフトの1本と結合しているプーリを有している。該アームアセンブリは、該シャフトの別の2本と結合されている。
請求項（抜粋）：
基板搬送装置であって、 駆動セクションと、 回転共通軸上で前記駆動セクションと結合している2つの独立可動アームアセンブリと、 前記アームアセンブリと結合している基板ホルダと、 からなることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (6件)：
B25J 9/06 ,  B25J 15/00 ,  B25J 15/08 ,  B25J 17/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68
FI (6件)：
B25J 9/06 D ,  B25J 15/00 C ,  B25J 15/08 Z ,  B25J 17/00 B ,  B65G 49/07 D ,  H01L 21/68 A
Fターム (32件)：
3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007BT11 ,  3C007CS04 ,  3C007CT04 ,  3C007CT05 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007DS02 ,  3C007ES08 ,  3C007EV05 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007HT03 ,  3C007HT11 ,  3C007HT16 ,  3C007HT34 ,  3C007KS16 ,  3C007KS21 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031GA04 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA50 ,  5F031LA06 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (10件)
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