特許
J-GLOBAL ID：200903000806130708
高周波電力用分岐スイッチ及びエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人エクシオ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-283357
公開番号（公開出願番号）：特開2006-100485
出願日： 2004年09月29日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：
【課題】 プラズマ中の電流、電圧の変化に弱いデバイスの加工が可能な、プラズマ発生装置のための高周波電力用分岐スイッチ及びこの分岐スイッチを備えたエッチング装置の提供。【解決手段】 主放電発生電力回路により高周波電力を分岐して副電極等に主放電電力の一部を導入する構造を持つプラズマ発生装置であって、分岐デバイスとして可変コンデンサーを用いると共に、この可変コンデンサーの容量に関して、パルスモータ又はサーボモータにより、最小容量値と設定容量値とを、又は低い設定容量値と高い設定容量値とを可及的に短時間で切り替える機構として容量値制御装置を設ける。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
高周波電力を導入してプラズマを発生する際に、主放電発生電力回路より高周波電力を分岐して対抗電極又は放電チャンバー内に設けられた副電極に主放電電力の一部を導入する構造を持つプラズマ発生装置のための高周波電力用分岐スイッチであって、分岐デバイスとして可変コンデンサーを用いると共に、この可変コンデンサーに対して、パルスモータ又はサーボモータにより、該コンデンサーの最小容量値と設定容量値とを可及的に短時間で切り替える機構を設けたことを特徴とするプラズマ発生装置のための高周波電力用分岐スイッチ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
5F004BA04
, 5F004BB11
, 5F004BB13
, 5F004BB29
, 5F004BD05
, 5F004CA03
, 5F004DA00
, 5F004DA17
, 5F004DA18
, 5F004DA23
, 5F004DB01
, 5F004EA13
, 5F004EA31
出願人引用 (2件)
-
エッチング装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-149825
出願人：株式会社アルバック
-
エッチング装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-305101
出願人：株式会社アルバック
審査官引用 (3件)
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