特許
J-GLOBAL ID：200903000808598006
ダイシングマシンの洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-010413
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214333
出願日： 1998年01月22日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】高い洗浄効果を得ることができるダイシングマシンの洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄液をウェーハWに向けて噴射するノズル28には超音波振動子29が設けられ、このノズル28に供給された洗浄液は、超音波振動子29によって超音波振動が与えられて加速される。ウェーハWはノズル28から噴射される洗浄液によって洗浄され、ウェーハW表面上の切削クズが水流の衝撃力によって確実に除去される。これによって、高い洗浄効果を得ることができる。
請求項（抜粋）：
ワークを碁盤目状に切断する切断刃と、該切断刃によって切断されたワークを洗浄液で洗浄する洗浄装置とを備えたダイシングマシンにおいて、前記洗浄装置は、前記洗浄液を超音波振動子で振動させて水流を加速させ、ノズルからワークに向けて噴射することを特徴とするダイシングマシンの洗浄装置。
引用特許：
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