特許
J-GLOBAL ID：200903000815364290

光偏向器

発明者：
安田 喜昭

安田 喜昭 について

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谷 雅直

谷 雅直 について

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赤松 雅洋

赤松 雅洋 について

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四十物 孝憲

四十物 孝憲 について


出願人/特許権者：
スタンレー電気株式会社

スタンレー電気株式会社 について


代理人 (5件)： 佐藤 辰彦 ,  堀 進 ,  鷺 健志 ,  本間 賢一 ,  加賀谷 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-069578
公開番号（公開出願番号）：特開2009-223165
出願日： 2008年03月18日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
要約：
【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、小型で簡単な構造で、レーザ光源等の光源からの光を走査して画像を表示する際に生じるスペックルノイズを低減することができる光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器A1のミラー部1は、1対又は2対の第1の圧電アクチュエータ8a〜8dにより1対のトーションバー2a,2bを介して、第1の軸周りで回転駆動され、1対の第2の圧電アクチュエータ10a,10bにより駆動される可動枠9を介して、第1の軸周りと異なる第2の軸周りで回転駆動されると共に、1対の第2の圧電アクチュエータ10a,10bにより並進駆動される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
反射面を有するミラー部と、該ミラー部を駆動する少なくとも1つの圧電アクチュエータとを備え、該圧電アクチュエータは、支持体上に形成された圧電体に駆動電圧を印加することで圧電駆動により屈曲変形を行う1つ以上の圧電カンチレバーを含み、該圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することで該ミラー部を回転駆動させる光偏向器において、 前記圧電アクチュエータは、前記ミラー部と該ミラー部の両端から外側に伸びた1対のトーションバーとを挟んで対向するように1対又は2対配置され、各圧電アクチュエータの少なくとも一端が該1対のトーションバーに連結され、他端は該ミラー部を囲むように設けられた可動枠の内側に連結されて支持された第1の圧電アクチュエータと、前記1対のトーションバーと異なる方向に該ミラー部及び可動枠を挟んで対向するように1対配置され、各圧電アクチュエータの一端が該可動枠の外側に連結され、他端は該可動枠を囲むように設けられた支持部に支持された第2の圧電アクチュエータとで構成され、 前記ミラー部は、前記第1の圧電アクチュエータにより前記1対のトーションバーを介して第1の軸周りで回転駆動され、前記第2の圧電アクチュエータにより駆動される前記可動枠を介して該第1の軸周りと異なる第2の軸周りで回転駆動されると共に、該第2の圧電アクチュエータにより並進駆動されることを特徴とする光偏向器。
IPC (3件)：
G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  H04N 1/113
FI (4件)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C ,  G02B26/08 E ,  H04N1/04 104Z
Fターム (34件)：
2H045AB13 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H045BA13 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC09 ,  2H141MD13 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141ME04 ,  2H141ME25 ,  2H141MF12 ,  2H141MF28 ,  2H141MG04 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ15 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ25 ,  2H141MZ26 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072BA02 ,  5C072BA06 ,  5C072DA05 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072HB15 ,  5C072XA10
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)

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