特許
J-GLOBAL ID：200903000865363465
大面積マスクレス露光方法及び露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-086520
公開番号（公開出願番号）：特開2006-269802
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 平板状基板の表面の傾き補正と焦点合わせを簡単且つ自動的に行うことができる大面積マスクレス方法及び露光装置を提供すること。【解決手段】 少なくとも3つの検査用明暗パターンを空間光変調器に表示させ、検査用明暗パターンを反映し且つ露光波長領域から外れた光を、結像光学系を介して、平板状基板の表面の1つの露光領域に投影させ、露光領域からの反射光を結像光学系を介して空間光変調器に再結像させ、検査用明暗パターンの表示部からの各々の反射光を、その各々の反射光に対応し互いに独立した複数の光電面を有する光電変換部に結像させ、平板状基板の結像光学系の光軸上の位置及び傾きを変化させ、光電面の各々からの出力を同時に最大にする位置及び傾きを検出し、その位置及び傾きに平板状基板を固定した後に、所望の露光用明暗パターンを反映した、露光波長領域の光を照射するようにした。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
光源、空間光変調器、結像光学系及び移動ステージを備えた大面積マスクレス露光装置を使用し、露光位置移動によって1回の露光面積よりも大きな領域を露光する大面積マスクレス露光方法において、
前記大面積マスクレス露光装置に、
互いに分離された少なくとも3つの検査用明暗パターンを前記空間光変調器に同時又は順次表示させる第1ステップと、
前記検査用明暗パターンを反映し且つ露光波長領域から外れた光を、前記結像光学系を介して、前記移動ステージ上に設置された平板状基板の表面の1つの露光領域に投影させる第2ステップと、
前記1つの露光領域からの反射光であって前記検査用明暗パターンに対応する各々の光を前記結像光学系を介して前記空間光変調器に再結像させ、前記検査用明暗パターンの表示部からの各々の反射光を、その各々の反射光に対応し互いに独立した複数の光電面を有する光電変換部に結像させる第3ステップと、
前記平板状基板の前記結像光学系の光軸上の位置及び傾きを前記移動ステージによって変化させ、前記光電面の各々からの出力を同時に最大にする位置及び傾きを検出し、その位置及び傾きに前記平板状基板を固定する第4ステップと、
前記空間変調器に所望の露光用明暗パターンを表示させ、露光波長領域の光を照射する第5ステップとを、
前記平板状基板の前記結像光学系の光軸に垂直な面内での移動の度に順次実行して、前記平板状基板の全露光領域で、常に焦点のあった露光を自動的に行うことを特徴とする大面積マスクレス露光方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 529
, G03F7/20 521
5F046BA06
, 5F046BA10
, 5F046CB12
, 5F046CB25
, 5F046DA05
, 5F046DA14
, 5F046DB01
