特許
J-GLOBAL ID:200903001094922609

レンズの検査方法及び装置並びにシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小林 和憲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-279874
公開番号(公開出願番号):特開2002-090258
出願日: 2000年09月14日
公開日(公表日): 2002年03月27日
要約:
【要約】【課題】 レンズの欠陥検査を効果的に行う。【解決手段】 洗浄・ブロー処理が行われた撮影レンズは、傷検査装置にセットされる。撮影レンズの下部に配置された投光器から検査光が照射され、上部に配置された撮像装置において暗視野撮影が行われる。傷の部分において散乱された検査光が撮像装置によって検出される。階調値の高い領域(明領域)が110画素以上あるときに、撮影レンズに傷が存在すると判定する。次に、撮影レンズは異物検査装置にセットされる。撮影レンズの上部に配置された投光器から検査光が照射され、撮像装置において暗視野撮影が行われる。異物の部分において反射された検査光が撮像装置によって検出される。撮影レンズの検査領域を複数の基本領域に分割し、隣接する基本領域間での平均階調値の差が120以上あるときに、撮影レンズに異物が存在すると判定する。
請求項(抜粋):
被検査体であるレンズの一方の側より検査光を照射し、前記レンズの他方の側よりレンズ表面の暗視野像を撮像して当該レンズ表面から散乱される間接光を光電的に検出し、一定領域における撮像信号の信号強度が設定レベルを超えたときに前記レンズは不良レンズであると判定することを特徴とするレンズの検査方法。
IPC (2件):
G01M 11/00 ,  G01N 21/958
FI (2件):
G01M 11/00 L ,  G01N 21/958
Fターム (11件):
2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB06 ,  2G051BB05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB03 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED09 ,  2G086FF05
引用特許:
審査官引用 (7件)
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