明暗検査装置および明暗検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石戸元 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-205252
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036048
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】低コントラストを有する欠陥を明暗の区別をつけて検出することができ、また一つの欠陥が従来のように二つの欠陥に分裂することもなく、欠陥を的確に検出することができる明暗検査装置を得る。【解決手段】被検査物を撮像して画像データを得、この画像データにより構成される画像を、等面積を有するメッシュに分割するとともに、分割された各メッシュにおいて画像データの加算を行って積分画像を得、この積分画像に対し、所定のメッシュ間隔毎に差分演算を行って微分画像を得、この微分画像より得られる値を所定値と比較することにより、被検査物の明度が部分的に異なる部分を欠陥として検出するとともに、積分画像の平均値を算出し、この平均値と、欠陥が検出される差分演算が行われた二つのメッシュにおける前記積分画像の値とに基づいて、欠陥の明暗を判定するようにした。

請求項（抜粋）：

被検査物を撮像し、その画像データに基づいて、前記被検査物の明暗を検査する明暗検査装置であって、前記被検査物を撮像し画像データを出力する撮像装置と、前記撮像装置より出力される画像データにより構成される画像を、等面積を有するメッシュに分割するとともに、分割された各メッシュにおいて画像データの加算を行って積分画像を得る積分画像算出部と、前記積分画像算出部により得られる積分画像に対し、所定のメッシュ間隔毎に差分演算を行って微分画像を得る微分画像算出部と、前記微分画像算出部により得られる値を所定値と比較することにより、被検査物の明度が部分的に異なる部分を欠陥として検出する欠陥検出部と、前記積分画像算出部により得られる前記積分画像の平均値を算出する平均値算出部と、前記平均値算出部により得られる平均値と、前記欠陥検出部により欠陥が検出される前記差分演算が行われた二つのメッシュにおける前記積分画像の値とに基づいて、前記欠陥検出部により検出された欠陥の明暗を判定する明暗判定部とを備えてなる明暗検査装置。

IPC (3件)：

G06T 7/00 , G01N 21/89 , H04N 7/18

FI (3件)：

G06F 15/62 400 , G01N 21/89 A , H04N 7/18 B

Fターム (28件)：

2G051AA34 , 2G051AA40 , 2G051AA41 , 2G051AB20 , 2G051BA20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051DA05 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA09 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC03 , 2G051ED07 , 5B057AA20 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC22 , 5B057DC32 , 5C054FC01 , 5C054FC05 , 5C054FC12 , 5C054FC16 , 5C054HA05

引用特許：

審査官引用 (5件)

欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-280970 出願人：東芝エンジニアリング株式会社
欠陥検出方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-016803 出願人：東芝エンジニアリング株式会社
欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-060754 出願人：富士写真フイルム株式会社

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