特許
J-GLOBAL ID:200903001102427957
III族窒化物p型半導体の製造方法およびIII族窒化物半導体発光素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 小林 良博
, 西山 雅也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-319164
公開番号(公開出願番号):特開2005-159341
出願日: 2004年11月02日
公開日(公表日): 2005年06月16日
要約:
【課題】 十分なキャリア濃度を有し、かつ、結晶ダメージの少ない表面を有するIII族窒化物p型半導体の効率的な製造方法を提供すること。【解決手段】 H2ガスおよび/またはNH3ガス含有雰囲気中でp型ドーパント含有III族窒化物半導体を1000°C以上で成長させた後、降温しつつ、且つ800°Cより高い温度でH2ガスおよびNH3ガスを不活性ガスに置換することを特徴とするIII族窒化物p型半導体の製造方法。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
H2ガスおよび/またはNH3ガスを用いるIII族窒化物p型半導体の製造方法において、H2ガスおよび/またはNH3ガス含有雰囲気中でp型ドーパント含有III族窒化物半導体を1000°C以上で成長させた後、降温しつつ、且つ800°C以下とならない温度でH2ガスおよびNH3ガスを不活性ガスに置換することを特徴とするIII族窒化物p型半導体の製造方法。
IPC (3件):
H01L21/205
, H01L33/00
, H01S5/323
FI (3件):
H01L21/205
, H01L33/00 C
, H01S5/323 610
Fターム (35件):
5F041AA40
, 5F041CA04
, 5F041CA05
, 5F041CA22
, 5F041CA34
, 5F041CA57
, 5F041CA65
, 5F041CA82
, 5F041CA88
, 5F041CA92
, 5F045AA03
, 5F045AA04
, 5F045AB09
, 5F045AB14
, 5F045AB17
, 5F045AB18
, 5F045AC07
, 5F045AC12
, 5F045AC15
, 5F045AC16
, 5F045AC19
, 5F045AD12
, 5F045AD14
, 5F045AF09
, 5F045CA10
, 5F045DA53
, 5F045EK03
, 5F045EK27
, 5F045HA16
, 5F173AG12
, 5F173AH22
, 5F173AH44
, 5F173AP06
, 5F173AQ13
, 5F173AQ20
引用特許:
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (1件)
前のページに戻る