水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器とそれらの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-405186
公開番号（公開出願番号）：特開2005-094727
出願日： 2003年10月29日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】等価直列抵抗Rpqの小さい、Q値の高い、零温度係数を有する超小型の輪郭水晶振動子とそれを具えた水晶ユニットと水晶発振器とそれらの製造方法を提供することにある。【解決手段】振動部と接続部と支持部からなる輪郭水晶振動子を、比較的に電気機械変換効率の良い水晶板から形成し、新しい電極の配置により、電気機械変換効率の良い輪郭水晶振動子が実現できる。同時に、任意の温度で零温度係数を有するので、広い温度範囲に亙って周波数変化が小さく、等価直列抵抗Rpqの小さい超小型の輪郭水晶振動子とそれを具えた水晶ユニットと水晶発振器を提供することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

振動部と接続部と支持部とを具えて構成される水晶振動子で、前記振動部の上下面には極性の異なる少なくとも一対の電極が対抗して配置されていて、前記水晶振動子は輪郭モードで振動する輪郭水晶振動子で、振動部と接続部と支持部とを具えて構成される前記水晶振動子は粒子法及び/又は化学的エッチング法により一体に形成されていることを特徴とする水晶振動子。

IPC (4件)：

H03H3/02 , H03B5/32 , H03H9/02 , H03H9/19

FI (4件)：

H03H3/02 B , H03B5/32 J , H03H9/02 K , H03H9/19 A

Fターム (19件)：

5J079AA04 , 5J079BA39 , 5J079FA14 , 5J079FA21 , 5J079FB03 , 5J079GA09 , 5J079HA22 , 5J108BB02 , 5J108BB03 , 5J108CC10 , 5J108CC11 , 5J108DD03 , 5J108DD08 , 5J108DD09 , 5J108EE03 , 5J108GG03 , 5J108JJ04 , 5J108KK01 , 5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (3件)

圧電素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-130742 出願人：リバーエレテック株式会社
ラーメ振動水晶振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-304645 出願人：リバーエレテック株式会社
ラーメモード水晶振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-351384 出願人：有限会社ピエデック技術研究所, クォーククリスタル技術研究所株式会社

審査官引用 (7件)

特開平3-165615
圧電振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-136241 出願人：株式会社明電舎
特開平3-252207

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