特許
J-GLOBAL ID：200903054982213531

圧電素子とその製造方法

発明者：
水本 勝也

水本 勝也 について

, 
結城 宏元

結城 宏元 について


出願人/特許権者：
リバーエレテック株式会社

リバーエレテック株式会社 について


代理人 (1件)： 浅川 哲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-130742
公開番号（公開出願番号）：特開2001-313537
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：
【要約】【課題】 化学的エッチング方法では打ち抜き等の加工が困難とされていた水晶の結晶方位を有するLQ2Tカット水晶基板に対して、短時間に精度よく所定形状に加工することにより、安定したラーメモード振動を実現する圧電素子及びこの圧電素子の製造方法を提供すること。【解決手段】 X軸(電気軸)、Y軸(機械軸)、Z軸(光軸)からなる三次元の結晶軸11を有する水晶原石10に対して、前記X軸を中心にY軸をZ軸に向けて36°〜42°の範囲内のLQ2Tカット角15で傾斜させたY’軸からなるXY’平面で切り出された水晶基板14に対して、パウダービームでラーメモード振動を行う形状に打ち抜き加工した。
請求項（抜粋）：
LQ2Tカット水晶基板からパウダービームによって打ち抜かれた四角形状の振動片が、この振動片と一体に打ち抜かれた支持片に前記振動片の隅から延びる幅狭の支持脚によって支持され、この振動片の四隅が振動の節点となってラーメモード振動することを特徴とする圧電素子。
IPC (2件)：
H03H 9/19 ,  H03H 3/02
FI (2件)：
H03H 9/19 B ,  H03H 3/02 B
Fターム (9件)：
5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC10 ,  5J108CC11 ,  5J108DD09 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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