特許
J-GLOBAL ID：200903001199637950
分流式流量センサ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-112532
公開番号（公開出願番号）：特開2005-300187
出願日： 2004年04月06日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】ワイヤボンディングで基板に接続された熱式流量センサを用いて高い測定精度と信頼性の確保が可能な分流式流量センサ装置を提供する。【解決手段】主流路とバイパス流路を備え、バイパス流路に熱式流量センサ211が配置されている。主流路を形成し、その側面に開口部を有する主流路モジュール11と、バイパス流路を形成し、主流路モジュール11の開口部を塞ぐバイパス流路モジュール12,21とを備え、主流路モジュール11は、バイパス流路モジュールの入口121よりも上流側に整流手段14を備え、バイパス流路モジュール12,21は、熱式流量センサ211がワイヤボンディングによって電気的に接続された基板21を有し、熱式流量センサ211の近傍においてバイパス流路の壁面が絶縁体で構成されている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
主流路及びバイパス流路を備え、前記バイパス流路に熱式流量センサが配置された分流式流量センサ装置であって、
前記主流路を形成し、その側面に開口部を有する主流路モジュールと、
前記バイパス流路を形成し、前記主流路モジュールの開口部を塞ぐバイパス流路モジュールとを備え、
前記主流路モジュールは、前記バイパス流路モジュールの入口よりも上流側に整流手段を備え、
前記バイパス流路モジュールは、前記熱式流量センサがワイヤボンディングによって電気的に接続された基板を有し、前記熱式流量センサの近傍において前記バイパス流路の壁面が絶縁体で構成されていることを特徴とする分流式流量センサ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01F1/00 S
, G01F1/68 101Z
2F030CC11
, 2F030CE02
, 2F030CF01
, 2F030CF09
, 2F030CF13
, 2F030CH05
, 2F035EA08
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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分流式流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-263687
出願人：日本特殊陶業株式会社
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流量及び流速測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-307330
出願人：日本特殊陶業株式会社
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流量モジュールおよび一体化された流れ制限器
公報種別：公表公報
出願番号：特願2001-560628
出願人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
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