特許
J-GLOBAL ID：200903001352365590

移動装置の位置誤差評価方法およびその評価結果に基づく移動精度向上方法

発明者：
佐藤 壽芳

佐藤 壽芳 について

, 
梅田 和昇

梅田 和昇 について


出願人/特許権者：
学校法人 中央大学

学校法人 中央大学 について


代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-248784
公開番号（公開出願番号）：特開2002-059340
出願日： 2000年08月18日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：
【要約】【課題】 従来法に比べて調整に時間をとらず、自動的な評価を容易に行うことができ、測定装置の精度維持が容易な誤差測定方法を提供することにある。【解決手段】 互いに直交する2軸方向または3軸方向へ移動体を移動させる移動装置における前記2軸方向または3軸方向のうちの所定2軸方向と直交する方向に関する前記移動体の位置誤差の、前記所定2軸方向のうちの1軸方向に沿う変化状態を表す真直誤差曲線を逐次2点法により求めることを、前記2軸方向のうちの他の1軸方向に繰り返し、前記所定2軸方向と直交する方向に関する前記移動体の位置誤差の、前記他の1軸方向に沿う変化状態を表す真直誤差曲線を、既に求めた前記真直誤差曲線群の両端の座標位置で求めて、それら両端の座標位置での真直誤差曲線を境界真直誤差曲線とし、前記境界真直誤差曲線に基づき前記真直誤差曲線群の配置を修正して誤差曲面を求め、前記誤差曲面によって、前記所定2軸を含む平面上でのその平面と直交する方向に関する前記移動体の2次元位置誤差を評価することを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
互いに直交する2軸方向または3軸方向へ移動体を移動させる移動装置における前記2軸方向または3軸方向のうちの所定2軸方向と直交する方向に関する前記移動体の位置誤差の、前記所定2軸方向のうちの1軸方向に沿う変化状態を表す真直誤差曲線を逐次2点法により求めることを、前記2軸方向のうちの他の1軸方向に繰り返し、前記所定2軸方向と直交する方向に関する前記移動体の位置誤差の、前記他の1軸方向に沿う変化状態を表す真直誤差曲線を、既に求めた前記真直誤差曲線群の両端の座標位置で求めて、それら両端の座標位置での真直誤差曲線を境界真直誤差曲線とし、前記境界真直誤差曲線に基づき前記真直誤差曲線群の配置を修正して誤差曲面を求め、前記誤差曲面によって、前記所定2軸を含む平面上でのその平面と直交する方向に関する前記移動体の2次元位置誤差を評価することを特徴とする、移動装置の位置誤差評価方法。
IPC (4件)：
B23Q 17/00 ,  B23Q 15/06 ,  B23Q 15/24 ,  G01B 21/00
FI (4件)：
B23Q 17/00 A ,  B23Q 15/06 ,  B23Q 15/24 ,  G01B 21/00 Z
Fターム (26件)：
2F069AA03 ,  2F069AA04 ,  2F069AA17 ,  2F069BB04 ,  2F069DD25 ,  2F069EE00 ,  2F069EE02 ,  2F069GG07 ,  2F069GG12 ,  2F069GG62 ,  2F069GG63 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ07 ,  2F069LL01 ,  2F069NN08 ,  2F069NN16 ,  2F069NN17 ,  2F069NN21 ,  2F069QQ07 ,  3C001KA01 ,  3C001TA01 ,  3C001TB01 ,  3C001TC05 ,  3C001TD01 ,  3C029EE02
引用特許：
審査官引用 (5件)
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