特許
J-GLOBAL ID：200903001502850271

ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者：
亀山 泰弘

亀山 泰弘 について


出願人/特許権者：
三菱化学株式会社

三菱化学株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-317553
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147771
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 感度、解像度に優れ、環境耐性の良好なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)フェノール性水酸基含有アルカリ可溶性樹脂または該水酸基の少なくとも一部が酸分解性保護基で保護された樹脂、(B)酸の作用により分解してアルカリ可溶性を付与する基を生成しうる部分構造を有する化合物及び(C)活性光線または放射線により分解して酸を発生する化合物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物に於て、更に(D)有機カルボン酸を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)フェノール性水酸基含有アルカリ可溶性樹脂または該水酸基の少なくとも一部が酸分解性保護基で保護された樹脂、(B)酸の作用により分解してアルカリ可溶性を付与する基を生成しうる部分構造を有する化合物及び(C)活性光線または放射線により分解して酸を発生する化合物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物に於て、更に(D)有機カルボン酸を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/04 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/04 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (46件)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB17 ,  2H025CB29 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CC20 ,  4J002BC121 ,  4J002CC041 ,  4J002CC051 ,  4J002CC061 ,  4J002EB017 ,  4J002EB047 ,  4J002EB097 ,  4J002EB137 ,  4J002EC036 ,  4J002EC046 ,  4J002EC056 ,  4J002EE036 ,  4J002EF038 ,  4J002EF048 ,  4J002EF068 ,  4J002EF078 ,  4J002EF098 ,  4J002EF118 ,  4J002EJ016 ,  4J002EJ026 ,  4J002EJ068 ,  4J002EU187 ,  4J002EU197 ,  4J002EV247 ,  4J002EV297 ,  4J002EW177 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ05
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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