特許
J-GLOBAL ID：200903001771919890

2次元分光装置及び膜厚測定装置

発明者：
村井 偉志

村井 偉志 について

, 
江川 弘一

江川 弘一 について


出願人/特許権者：
オムロン株式会社

オムロン株式会社 について


代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-321267
公開番号（公開出願番号）：特開2005-091003
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】 測定対象物の2次元領域で薄膜の膜厚をインライン計測する膜厚測定装置において、計測対象物の距離の変動や傾きの変動に対して測定結果を安定させる。【解決手段】 光源50から水平に出た光を投光レンズ51を通してハーフミラー52に入射させる。ハーフミラー52で反射した光は、対物レンズ53によって対象物43に同軸落射される。対物レンズ53で反射した光は、対物レンズ53及び開口絞り54からなる物体側テレセントリック光学系を通して撮像部56に結像される。撮像部56に入射する光は、マルチ分光フィルタ55に設けた分光フィルタによって分光される。ここで、光源50と開口絞り54とが結像関係にあり、対象物43と撮像部56が結像関係にある。さらに、投光光学系における像側の開口数が、受光光学系における物側の開口数よりも大きくなっており、光源50は開口絞り54の位置に、ある程度の広がりを有し、均一な光強度の像を形成する。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
光源から測定対象物に向けて光を照射する投光光学系と、 測定対象物の単色画像を取り込む撮像手段と、 測定対象物の像を前記撮像手段に結像させる受光光学系とを備えた2次元分光装置において、 前記受光光学系を、結像素子及び開口絞りからなるテレセントリック受光光学系によって構成したことを特徴とする2次元分光装置。
IPC (4件)：
G01N21/27 ,  G01B11/06 ,  G02F1/13 ,  H01L21/66
FI (5件)：
G01N21/27 B ,  G01N21/27 A ,  G01B11/06 G ,  G02F1/13 101 ,  H01L21/66 P
Fターム (60件)：
2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065CC31 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL03 ,  2F065LL05 ,  2F065LL08 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL59 ,  2F065LL67 ,  2F065NN02 ,  2F065NN16 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ26 ,  2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059GG05 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04 ,  2H088FA20 ,  2H088FA30 ,  2H088HA03 ,  2H088HA04 ,  2H088MA17 ,  2H088MA20 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA04 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特願2001-506442
  • 分光反射率測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-262828   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (3件)

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