特許
J-GLOBAL ID：200903021354145238
膜厚測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯塚 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-309172
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114107
出願日： 2001年10月04日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 液晶表示パネルのカラーフィルタを構成するRGB各レジスト膜の膜厚を正確に測定可能な光干渉式の膜厚測定装置を提供すること。【解決手段】 赤外光を発する光源部と、光源部から発せられた赤外光を測定物体である膜体に向けて出射すると共にその反射光を入射して分光部へと導く送受光学系と、分光部から得られる一連の成分光を適宜に区分して個別に光電変換する光電変換部と、光電変換部から得られる干渉波形相当の電気信号に基づいて膜厚を求める演算部と、を具備する。
請求項（抜粋）：
測定光として赤外光を使用することを特徴とする光干渉式の膜厚測定装置。
Fターム (31件)：
2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065CC25
, 2F065CC31
, 2F065DD02
, 2F065FF51
, 2F065GG07
, 2F065GG13
, 2F065GG23
, 2F065GG24
, 2F065HH13
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ18
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL03
, 2F065LL04
, 2F065LL20
, 2F065LL67
, 2F065NN02
, 2F065NN16
, 2F065QQ00
, 2F065QQ03
, 2F065QQ18
, 2F065QQ23
, 2F065QQ26
, 2F065QQ27
, 2F065QQ29
