特許
J-GLOBAL ID:200903001797334385
レーザーダイオードアレイ、レーザー装置、合波レーザー光源および露光装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-201979
公開番号(公開出願番号):特開2003-158332
出願日: 2002年07月10日
公開日(公表日): 2003年05月30日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 高出力が得られるレーザーダイオードアレイを得る。【解決手段】 複数の発光点を有するマルチキャビティレーザーダイオードチップ312を、複数個並べて固定してレーザーダイオードアレイ310を構成する。
請求項(抜粋):
複数の発光点を有するマルチキャビティレーザーダイオードチップが、複数個並べて固定されてなるレーザーダイオードアレイ。
IPC (3件):
H01S 5/022
, G03F 7/24
, H01S 5/22 610
FI (3件):
H01S 5/022
, G03F 7/24 G
, H01S 5/22 610
Fターム (18件):
2H097AA16
, 2H097AB06
, 2H097CA03
, 2H097CA17
, 5F073AB05
, 5F073AB21
, 5F073AB27
, 5F073AB28
, 5F073BA07
, 5F073CA02
, 5F073EA24
, 5F073FA07
, 5F073FA08
, 5F073FA14
, 5F073FA15
, 5F073FA18
, 5F073FA22
, 5F073FA30
引用特許:
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