特許
J-GLOBAL ID:200903001797334385

レーザーダイオードアレイ、レーザー装置、合波レーザー光源および露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-201979
公開番号(公開出願番号):特開2003-158332
出願日: 2002年07月10日
公開日(公表日): 2003年05月30日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 高出力が得られるレーザーダイオードアレイを得る。【解決手段】 複数の発光点を有するマルチキャビティレーザーダイオードチップ312を、複数個並べて固定してレーザーダイオードアレイ310を構成する。
請求項(抜粋):
複数の発光点を有するマルチキャビティレーザーダイオードチップが、複数個並べて固定されてなるレーザーダイオードアレイ。
IPC (3件):
H01S 5/022 ,  G03F 7/24 ,  H01S 5/22 610
FI (3件):
H01S 5/022 ,  G03F 7/24 G ,  H01S 5/22 610
Fターム (18件):
2H097AA16 ,  2H097AB06 ,  2H097CA03 ,  2H097CA17 ,  5F073AB05 ,  5F073AB21 ,  5F073AB27 ,  5F073AB28 ,  5F073BA07 ,  5F073CA02 ,  5F073EA24 ,  5F073FA07 ,  5F073FA08 ,  5F073FA14 ,  5F073FA15 ,  5F073FA18 ,  5F073FA22 ,  5F073FA30
引用特許:
審査官引用 (10件)
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