特許
J-GLOBAL ID：200903001801460234

大型ペリクル

発明者：
畑田 良勝

畑田 良勝 について

, 
栗山 芳真

栗山 芳真 について


出願人/特許権者：
旭化成電子株式会社

旭化成電子株式会社 について


代理人 (1件)： 中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-394167
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296763
出願日： 2001年12月26日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、大型ペリクル膜を展張して貼着支持する枠体を有する大型ペリクルであって、少なくとも一対の辺を枠体の外側に向かって突出するように形成したことで、該長辺の枠体の内側に向かう撓みを抑制してフォトマスクの有効露光領域を確保することが出来、更にはフォトマスクへの良好な貼り付け性能を確保し得る大型ペリクルを提供することを可能にすることを目的としている。【解決手段】 膜厚が1μm以上、且つ10μm以下のペリクル膜2を展張する面積が1000cm2以上で且つ枠体1のうち一対の長辺1aが該枠体1の外側に向かって突出するように形成され、枠体1のペリクル膜2が貼着される面と反対側の面には厚みが0.2mm以上、且つ3mm以下で圧縮硬さが0.13N/cm2以上、且つ130.00N/cm2以下のマスク粘着材3により、厚みが25μm以上、且つ1mm以下で弾性率が0.5GPa以上、且つ50GPa以下の保護フィルム4が貼着されたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
大型ペリクル膜を展張して貼着支持する4辺の枠体を有し、該大型ペリクル膜を展張する面積が1000cm2以上で構成され、且つ前記大型ペリクル膜が貼着される前記枠体のうち少なくとも一対の辺を該枠体の外側に向かって突出するように形成した大型ペリクルであって、前記枠体の前記大型ペリクル膜が貼着される面と反対側の面には所定の圧縮硬さを有するマスク粘着材によって保護フィルムが貼着されたことを特徴とする大型ペリクル。
IPC (2件)：
G03F 1/14 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 1/14 J ,  H01L 21/30 502 P
Fターム (4件)：
2H095BA01 ,  2H095BC33 ,  2H095BC34 ,  2H095BC38
引用特許：
審査官引用 (4件)
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